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氣體捕集泵概述
2017-08-05 17:14:32 來(lái)源:“上海水興”ENG氣體捕集泵概述——上海水興閥門(mén)有限公司ENG氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)外表上,從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而到達(dá)抽氣目的的真空泵,有以下幾種型式。
1、吸附泵
它主要依托具有大外表的吸附劑(如多孔物質(zhì))的物理吸附作用來(lái)抽氣的一種捕集式真空泵。
2、吸氣劑泵
它是一種應(yīng)用吸氣劑以化學(xué)分離方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或堆積新穎薄膜方式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種型式。
3、吸氣劑離子泵
它是使被電離的氣體經(jīng)過(guò)電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附在有吸氣資料的外表上,以到達(dá)抽氣的目的。它有如下幾種型式。
(1)蒸發(fā)離子泵:泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以連續(xù)或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內(nèi)壁的吸氣資料上,以完成抽氣的一種真空泵。
(2)濺射離子泵:泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來(lái)的吸氣資料上,以完成抽氣目的的一種真空泵。
4、低溫泵
應(yīng)用低溫外表捕集氣體的真空泵。
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